Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380

Hitachi S-9380: Точность и Надежность в Микроэлектронике

В мире полупроводникового производства, где каждый микрон имеет значение, точность измерений становится краеугольным камнем успеха. Растровый электронный микроскоп Hitachi S-9380 — это передовое решение, разработанное для обеспечения высочайшей детализации и надежности при анализе топологии интегральных схем на кремниевых пластинах диаметром 200 мм. Этот прибор открывает новые горизонты для контроля качества и оптимизации производственных процессов, гарантируя соответствие самым строгим стандартам.

Ключевые Преимущества Hitachi S-9380

Hitachi S-9380 — это не просто измерительный инструмент, а комплексная система, сочетающая в себе передовые технологии и интуитивно понятное управление. Его основное назначение — точное определение линейных размеров элементов микросхем, что критически важно на всех этапах производства, от фотошаблонов до готовых структур после травления.

Принцип Работы и Возможности Измерений

Сердце микроскопа — это его интеллектуальная система автоматических измерений, работающая по заданным программам. Формирование изображения происходит за счет анализа вторичных электронов, что позволяет получать высококонтрастные и детализированные картины топологии. Система выделяет видеосигнал строк, а затем, по заданным точкам, определяет размеры элементов с исключительной точностью.

Hitachi S-9380 способен измерять:

• Линейные размеры протяженных объектов, включая выступы и канавки (линии).
• Внутренние и внешние диаметры круглых структур.
• Неровности края и другие критически важные геометрические параметры.

Конструкция и Автоматизация

Прибор представляет собой напольную конструкцию, состоящую из нескольких ключевых модулей:

• Основной блок: сердце системы, где происходит формирование электронного пучка и сбор данных.
• Консоль оператора: эргономичное рабочее место для управления и анализа результатов.
• Система охлаждения (чиллер): обеспечивает стабильную работу компонентов при длительных нагрузках.
• Блок питания: гарантирует надежное электроснабжение всех узлов.

Для обеспечения максимальной эффективности и минимизации человеческого фактора, микроскоп оснащен системой автоматической загрузки и транспортировки пластин, прецизионным двухкоординатным предметным столом с контролем положения, а также продвинутыми системами распознавания изображений — как в оптическом, так и в электронном режимах.

Программное Обеспечение: Интеллект и Гибкость

Управление всеми процессами осуществляется посредством специализированного программного обеспечения (ПО) Hitachi CD Measurement SEM. Это мощный инструмент, позволяющий:

• Настраивать параметры микроскопа.
• Разрабатывать и применять пользовательские рецепты измерений.
• Контролировать процесс измерений в реальном времени.
• Отображать и анализировать полученные данные.
• Интегрироваться с внешними рабочими станциями.

Интуитивно понятный пользовательский интерфейс, управляемый с помощью клавиатуры и мыши, делает работу с ПО максимально комфортной. ПО имеет уровень защиты от изменений «средний» согласно Р 50.2.077 - 2014, обеспечивая надежность и воспроизводимость результатов.

Технические и Метрологические Характеристики

Метрологические характеристики:

• Диапазон измерений линейных размеров: от 0,05 до 2,00 мкм.
• Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений: ± 0,02 мкм.

Основные технические характеристики:

• Габаритные размеры (Д х В х Ш): Основной блок – 1200 х 2007 х 1900 мм, Консоль оператора – 600 х 1170 х 1850 мм, Чиллер – 1200 х 1496 х 1900 мм, Блок питания – 535 х 1200 х 1800 мм.
• Масса: Основной блок – 1850 кг, Консоль оператора – 340 кг, Чиллер – 600 кг, Блок питания – 380 кг.
• Параметры питания: 200/208/230 В, 50/60 Гц.
• Условия эксплуатации: Температура +20...+24 °С, относительная влажность 30-50%, атмосферное давление 50-106 кПа.
• Требования к вибрации (Point to Point): не более 3 мкм (вертикальное направление, 1-10 Гц).
• Магнитное поле: не более 0,3 мкТ.

Идентификация прибора: На задней панели основного блока справа внизу расположен шильдик с наименованием, страной-изготовителем, серийным номером (например, № 2153-04) и годом выпуска, нанесенными методом лазерной гравировки.

Комплектность Поставки

Прибор поставляется в полной комплектации, готовой к эксплуатации:

• Микроскоп растровый электронный Hitachi S-9380 (основной блок, консоль оператора, блок питания, чиллер, форвакуумный насос).
• SMIF-контейнер М200 - Е011.
• Кассета КА198 - 80МВ - 47С02.
• Кремниевая пластина диаметром 200 мм с топологией.
• Руководство по эксплуатации.

Поверка прибора осуществляется в соответствии с локальной поверочной схемой, утвержденной ФГБУ «ВНИИОФИ» от 30 мая 2023 г., для диапазона значений от 0,020 до 20,000 мкм. Знак поверки на прибор не наносится, пломбирование также не предусмотрено.

Заказать Hitachi S-9380 с Доставкой

Компания «ЦЕНТР ЛАБОРАТОРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ» предлагает вам заказать растровый электронный микроскоп Hitachi S-9380. Мы обеспечиваем профессиональную доставку по всей России и предоставляем полную техническую поддержку. Уточните актуальную цену и условия поставки у наших специалистов.

Контактная информация:

Телефон: 8 (800) 511-77-51

E-mail: info@labcsm.ru

Если вам необходима консультация по выбору или внедрению данного оборудования, а также информация о его метрологической характеристике, свяжитесь с нами. Наши эксперты помогут подобрать оптимальное решение для ваших задач.

[HYDRA_UPDATED]