Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP

Высокоточные измерения микрорельефа с растровыми электронными микроскопами SIGMA

Откройте новые горизонты в исследовании микромира с семейством полевых эмиссионных растровых электронных микроскопов SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD и SIGMA HD VP. Эти передовые приборы от «ЦЕНТР ЛАБОРАТОРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ» обеспечивают беспрецедентную точность в определении линейных размеров микрорельефа твердотельных структур, открывая широкие возможности для научных исследований, контроля качества и разработки инновационных материалов.

Ключевые возможности и назначение

Микроскопы SIGMA предназначены для точного измерения проекций геометрических расстояний на горизонтальную плоскость. Это означает, что вы сможете с высокой степенью детализации определить размеры между точками на плоской, горизонтально ориентированной поверхности вашего образца. Незаменимы для:

• Анализа микроструктуры полупроводниковых изделий.
• Исследования нанопокрытий и тонких пленок.
• Контроля качества поверхностей в микроэлектронике.
• Изучения морфологии материалов на субмикронном уровне.

Принцип работы и конструктивные особенности

В основе работы микроскопов SIGMA лежит принцип сканирования поверхности образца сфокусированным электронным пучком. Это позволяет создавать высокодетализированные изображения и проводить точные измерения. Для обеспечения стабильной работы и чистоты электронного пучка в приборах поддерживается глубокий вакуум в ключевых узлах:

• Электронная пушка: Вакуум в вершине пушки поддерживается с помощью геттеро-ионных наносов, обеспечивая стабильную эмиссию электронов.
• Колонна: Зона, где происходит ускорение, формирование, фокусировка и отклонение электронного пучка. Основные компоненты оптики включают ускоритель и объективную линзу (электростатическую и электромагнитную).
• Камера для образцов: Герметичная камера, где размещается образец. Вакуум в камере контролируется измерителем Пеннинга.

Инновационные модификации для ваших задач

Семейство SIGMA представлено несколькими модификациями, каждая из которых обладает уникальными преимуществами:

• SIGMA VP: Оснащены режимом работы с разным уровнем вакуума, что расширяет возможности анализа чувствительных образцов.
• SIGMA HD: Отличаются повышенной разрешающей способностью, увеличенными размерами рабочей камеры и столика для образцов, что делает их идеальным выбором для сложных исследований.

Удобство управления и анализа

Образец располагается на герметичном столике, который обеспечивает точное позиционирование по пяти координатам. Управление перемещением столика осуществляется интуитивно через панель с джойстиками или с помощью программного джойстика в пользовательском интерфейсе. В стандартную комплектацию входит высококачественная ПЗС-камера с инфракрасной подсветкой для удобства наблюдения.

Программное обеспечение SmartSEM

Микроскопы SIGMA комплектуются автономным программным обеспечением SmartSEM (версия 5.06), которое является неотъемлемой частью метрологической системы. ПО обеспечивает комплексную обработку результатов измерений. Для защиты данных от несанкционированного доступа и обеспечения целостности результатов, метрологически значимая часть ПО и измеренные данные защищены паролем.

Метрологические характеристики

Точность измерений является ключевым параметром микроскопов SIGMA.

• Эффективный диаметр электронного зонда: не более 150 нм.
• Диапазон показаний линейных размеров: от 1 до 2406 нм.
• Диапазон измерений линейных размеров: от 500 нм до 2 мм.
• Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров: ±(4+0,05L*) нм.

Заказать микроскоп SIGMA

Если вам требуется высокоточное оборудование для анализа микрорельефа, обратитесь в «ЦЕНТР ЛАБОРАТОРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ». Мы предлагаем выгодную цену на микроскопы SIGMA, а также обеспечиваем профессиональную консультацию, оперативную доставку и поддержку. Наши специалисты помогут подобрать оптимальную модель, соответствующую вашим задачам, и проведут все необходимые процедуры для ввода прибора в эксплуатацию, включая поверку.

Контактная информация:

Телефон: 8 (800) 511-77-51 E-mail: info@labcsm.ru Не упустите возможность повысить эффективность ваших исследований и разработок. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы получить подробную консультацию и узнать больше о возможностях микроскопов SIGMA!

[HYDRA_UPDATED]