Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100: Глубокий Анализ Материалов для Инновационных Технологий

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 — это передовое решение для высокоточного элементного и изотопного анализа, открывающее новые горизонты в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковой промышленности. Прибор позволяет проводить послойное и трехмерное исследование структуры материалов, контролировать дозы имплантации и измерять глубины p-n переходов с беспрецедентной детализацией. Если вам требуется надежное оборудование для научных исследований или производственного контроля, ToF.SIMS 5-100 станет вашим незаменимым помощником. Мы предлагаем заказать этот прибор с гарантией качества и профессиональной поддержкой от компании «ЦЕНТР ЛАБОРАТОРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ».

Принцип работы: Декодирование Информации о Материалах

В основе работы масс-спектрометра лежит явление вторичной эмиссии. При облучении поверхности образца первичным ионным пучком высокой энергии (несколько килоэлектронвольт) происходит каскад атомных столкновений. В результате этих взаимодействий из приповерхностных слоев испускаются отдельные атомы и их кластеры, часть из которых приобретает положительный или отрицательный заряд, становясь вторичными ионами. Именно эти ионы несут в себе исчерпывающую информацию об элементном и изотопном составе анализируемой области.

ToF.SIMS 5-100 использует инновационный подход с двумя синхронно чередующимися ионными пучками:

• Анализирующий пучок: Формируется жидкометаллической ионной пушкой с ионами Bi. Отличается крайне низким током (~1 пА), высокой энергией (30 кэВ) и сверхкороткими импульсами (менее 1 нс) с частотой до 50 кГц, обеспечивая высокое разрешение.
• Распыляющий пучок: Создается сдвоенной ионной пушкой с ионами O2+ и Cs+. Энергия пучка варьируется от 200 эВ до 2 кэВ, а угол падения может быть изменен в широких пределах, что позволяет эффективно удалять слои материала для послойного анализа.

Измерение масс-спектра вторичных ионов осуществляется с помощью времяпролетного масс-анализатора. Время пролета ионов от образца до детектора напрямую коррелирует с их массой, позволяя точно определить состав образца.

Гибкие Режимы Работы для Различных Задач

Масс-спектрометр ToF.SIMS 5-100 предлагает три основных режима работы, адаптируемых под конкретные аналитические задачи:

• Режим спектрометра: Идеален для получения масс-спектров поверхности и детального анализа профилей распределения элементов по глубине. Обеспечивает высочайшее масс-спектральное разрешение, но с несколько меньшим латеральным разрешением.
• Режим изображения: Позволяет получать высококачественные сканирующие ионные изображения поверхности и детальные карты трехмерного распределения элементов. Характеризуется превосходным латеральным разрешением, при этом масс-спектральное разрешение несколько снижено.
• Оптимальный режим изображения: Запатентованная технология пакетного режима первичного пучка позволяет достичь уникального сочетания высокого масс-спектрального и высокого латерального разрешения, предоставляя наиболее полную информацию о структуре образца.

Технические Преимущества и Комплектация

ToF.SIMS 5-100 — это полностью автоматизированная многофункциональная система, включающая:

• Основной блок с жидкометаллической ионной пушкой (BiMn), сдвоенной распыляющей ионной пушкой (O2+/Cs+), рабочую камеру, времяпролетный масс-спектрометр и регистрирующую систему.
• Современную вакуумную систему и интуитивно понятную систему управления.
• Рабочий стол с управляющим компьютером и блоком электроники.

Управление прибором осуществляется с помощью специализированного программного обеспечения «SurfaceLab», которое обеспечивает полный контроль над процессом измерений, составление аналитических программ и обработку полученных данных. ПО «SurfaceLab» имеет уровень защиты «средний» согласно Р 50.2.077-2014.

Метрологические Характеристики и Технические Параметры

Прибор обладает выдающимися метрологическими характеристиками, гарантирующими точность и надежность результатов:

• Масс-спектральное разрешение: не менее 10000.
• Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений массы: ±(0,1+Мном·10⁻³) а.е.м. для положительных и отрицательных вторичных ионов.

Основные технические характеристики:

• Максимальная энергия первичного пучка Bi+: 30 кэВ.
• Максимальный ток первичного пучка Bi+ (режим постоянного тока): не менее 30 нА.
• Энергия первичных ионов Cs+: от 0,2 до 2 кэВ.
• Максимальный ток ионов Cs+: до 150 нА (в зависимости от энергии).
• Энергия первичных ионов O2+: от 0,25 до 2 кэВ.
• Максимальный ток ионов O2+: до 600 нА (в зависимости от энергии).
• Масса основного блока: не более 900 кг.
• Масса рабочего стола с электроникой: не более 300 кг.
• Условия эксплуатации: температура +18...+22 °С, относительная влажность 20-80%.
• Напряжение питания: 210-230 В (однофазная сеть).
• Потребляемая мощность: не более 3500 Вт.

Поверка и Сертификация

Поверка масс-спектрометра ToF.SIMS 5-100 осуществляется в соответствии с документом МП 74813-19. Основным средством поверки является стандартный образец карбида кремния типа КК (К9) ГСО 4302-88. Знак поверки наносится на лицевую панель прибора и свидетельство о поверке, подтверждая соответствие прибора заявленным метрологическим характеристикам.

Комплектность Поставки

При заказе масс-спектрометра ToF.SIMS 5-100 вы получаете полный комплект, включающий:

• Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 (1 шт.).
• Руководство по эксплуатации (1 экз.).
• Методику поверки (1 экз.).

Мы обеспечиваем оперативную доставку оборудования по всей России. Уточните актуальную цену и условия поставки, связавшись с нашими специалистами.

Для получения подробной консультации по масс-спектрометру ToF.SIMS 5-100, обсуждения ваших аналитических задач и оформления заказа, пожалуйста, свяжитесь с нами:

Телефон: 8 (800) 511-77-51

E-mail: info@labcsm.ru

Команда «ЦЕНТР ЛАБОРАТОРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ» готова предоставить экспертную поддержку и помочь вам выбрать оптимальное решение для ваших научных и производственных потребностей.

[HYDRA_UPDATED]