Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f

Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f: Ваш ключ к прецизионному анализу материалов

Откройте новые горизонты в исследовании материалов с масс-спектрометром вторично-ионным микрозондовым IMS-7f. Этот передовой прибор, разработанный для высокоточных измерений, позволяет детально анализировать состав и структуру объектов на микроскопическом уровне. Благодаря уникальной технологии послойного травления и анализу вторичных ионов, IMS-7f становится незаменимым инструментом для контроля качества, разработки новых материалов и решения сложных научных задач.

Применение IMS-7f: Широкий спектр возможностей

Масс-спектрометр IMS-7f находит применение в самых разнообразных областях, где требуется высочайшая точность анализа:

• Контроль дозы имплантации в полупроводниковой промышленности.
• Измерение глубины p-n переходов для оптимизации электронных компонентов.
• Разработка передовых технологических процессов в материаловедении.
• Послойный элементный анализ:
• Материаловедение
• Микроэлектроника и полупроводниковые технологии
• Геология
• Биология и медицина
• Металлургия

Принцип работы: Взгляд вглубь материала

В основе работы IMS-7f лежит явление вторичной ионной эмиссии. Поверхность исследуемого образца подвергается бомбардировке первичными ионами (например, Cs+ или O2+). В результате этого взаимодействия происходит каскад столкновений, приводящий к эмиссии атомов из приповерхностных слоев. Часть этих атомов приобретает заряд, становясь вторичными ионами. Далее, вторичные ионы разделяются по соотношению массы к заряду с помощью масс-сепаратора с двойной фокусировкой, а затем регистрируются высокочувствительной системой детектирования. Этот процесс позволяет с высокой точностью определить элементный состав и пространственное распределение элементов в образце.

Конструкция и управление: Инновации в каждой детали

IMS-7f представляет собой комплексное решение, включающее:

• Ионную пушку для генерации первичного ионного пучка.
• Камеру распыления, где происходит взаимодействие ионов с образцом.
• Масс-сепаратор для точного разделения вторичных ионов.
• Регистрирующую систему для сбора данных.
• Вакуумную систему, обеспечивающую оптимальные условия для анализа.
• Систему управления, интегрированную с рабочим столом и управляющим компьютером.

Управление прибором осуществляется интуитивно понятно с помощью специализированного программного обеспечения, установленного на внешнем ПК, что гарантирует максимальную гибкость и удобство в работе.

Ключевые технические характеристики

Основные метрологические характеристики масс-спектрометра IMS-7f:

• Диапазон измерений массы вторичных ионов:
• При напряжении на образце 5 кВ: не менее 460 а.е.м.
• При напряжении на образце 10 кВ: не менее 230 а.е.м.
• Пределы допускаемой погрешности измерений массы: ±(0,1 + Мном·10⁻³) а.е.м. (для положительных и отрицательных вторичных ионов).
• Максимальное масс-спектральное разрешение: не менее 25000.
• Ускоряющее напряжение первичных ионов:
• Cs+: от 1 до 10 кВ
• O2+: от 1,1 до 15 кВ
• Максимальный ток ионов:
• Cs+ (10 кВ): не менее 1 мкА
• O2+ (15 кВ): не менее 7 мкА
• O2+ (1,1 кВ): не менее 100 нА
• Геометрические размеры исследуемых образцов: до 24 мм (диаметр) x 3 мм (толщина).
• Потребляемая мощность: не более 9,9 кВт.
• Масса прибора: 1430 кг.
• Габаритные размеры:
• Физическая часть: 2240x2080x1550 мм
• Электронная стойка: 600x900x1950 мм

Условия эксплуатации и поверка

Прибор предназначен для работы в стандартных лабораторных условиях:

• Температура: 20 ± 1 °C
• Атмосферное давление: 101 ± 1,4 кПа
• Относительная влажность: 70 ± 5 %
• Напряжение питания: 230 ± 10 В, 50 ± 15 Гц
• Допустимые вибрации и внешние магнитные поля минимизированы для обеспечения стабильности измерений.

Поверка масс-спектрометра IMS-7f проводится согласно утвержденной методике, с использованием сертифицированных эталонов (части пластины монокристаллического кремния и индий). Межповерочный интервал составляет 1 год, что гарантирует постоянную метрологическую точность прибора.

Комплектность и нормативная база

В комплект поставки масс-спектрометра IMS-7f входят: сам прибор, комплект запасных частей, инструмента и принадлежностей (ЗИП), расходные материалы и полный пакет технической документации от производителя. Тип прибора утвержден с соответствующими техническими и метрологическими характеристиками, что подтверждается знаком утверждения типа.

Заказать IMS-7f: Ваш шаг к передовым исследованиям

Если вам необходим высокоточный инструмент для анализа материалов, масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f – это оптимальное решение. Мы предлагаем не только само оборудование, но и полный спектр услуг, включая консультации, помощь в подборе, доставку и последующее сервисное обслуживание. Узнайте актуальную цену и условия приобретения, связавшись с нами. «ЦЕНТР ЛАБОРАТОРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ» готов предложить вам лучшие решения для вашей лаборатории. Мы поможем вам заказать IMS-7f и обеспечить его бесперебойную работу. Для получения подробной консультации по масс-спектрометру IMS-7f, обсуждения ваших задач и получения индивидуального предложения, пожалуйста, свяжитесь с нами: Телефон: 8 (800) 511-77-51 E-mail: info@labcsm.ru

[HYDRA_UPDATED]